三星电子开宣告透光率达88%的EUV薄膜

  三星电子在2021年在代工厂论坛上宣告自主研制EUV薄膜(pellicle)的音讯，据悉，在2022年末三星电子完结透光率达88%的EUV薄膜产品研讨开发，并可以大规模出产。

  音讯指出，韩国的EUV薄膜一向被外部厂商独占，三星电子开发EUV薄膜，是为应对未来的需求改变并完成供给多样化，供给链多元化和安稳值得等待。业界猜测，本年EUV薄膜的需求将比上一年添加近2倍。音讯表明，最早在1~2年内，韩国国产EUV薄膜将应用于商用化、量产出产线。

  依据此前音讯，除了开发自己的EUV薄膜外，三星电子还在推进与国内首要资料公司的协作。据悉，三星电子将在其3nm工艺中选用透光率超越90%的最新EUV薄膜以进步良率，这些薄膜将来自韩国公司S&S Tech。

  S&S Tech在2021年出产成功开宣告了透光率达90%的半导体EUV薄膜，并宣告最早将于2023年上半年进入透光率超越90%的EUV薄膜的批量出产。